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氧化釔穩(wěn)定氧化鋯耐刻蝕涂層的研究現(xiàn)狀

時間:2020-08-07 03:08:51 點擊:2930次

隨著熱噴涂技術的發(fā)展,通過制備陶瓷涂層來提高等離子體蝕刻室的耐腐蝕性成為可能。討論氧化釔穩(wěn)定的氧化鋯(YSZ)陶瓷涂層及其主要制備技術。大氣等離子噴涂工藝,介紹了粉末特性以及不同噴涂工藝參數(shù)對涂層性能的影響,為實驗研究奠定了理論基礎。

產品功能

1.產品純度高,粒徑小,分布均勻,比表面積大,表面活性高,堆積密度低;

2.白色微黃色粉末,不溶于水和堿,溶于酸。

應用領域  用于鋼鐵和有色合金的

1.添加劑;

2.引擎零件;

3.機械加工,例如鉆孔,切割和焊接;

4.電子顯微鏡熒光屏;

5.航空等低密度高熔點場合;

6.燃料電池,電解池和氣體傳感器;

7.耐高溫噴涂材料,核反應堆燃料稀釋劑,永磁材料添加劑;

8.電子行業(yè)的Getter。

包裝和儲存

本產品默認裝在惰性氣體防靜電袋或真空袋中。收貨后,應密封并保存在干燥陰涼的環(huán)境中。它不應長時間暴露在空氣中,以防止由于水分而結塊,這會影響分散性能和使用效果。

說到等離子蝕刻,這是一種不可替代的過程,可以實現(xiàn)從光刻模板到硅晶片的VLSI生產中精細圖案的高保真轉印。氧化釔是關鍵的粉末材料之一。氧化釔的化學性質非常穩(wěn)定,并且具有的抗等離子腐蝕性能。氧化釔涂層對蝕刻工藝腔具有良好的保護作用。此外,氧化釔涂層還可以充當碳阻擋層,并用于制備用于熔煉高附加值合金的石墨坩堝。經過工藝優(yōu)化和反復試驗,熱噴涂氧化釔和氧化釔穩(wěn)定的氧化鋯粉已通過驗收并投放市場,歡迎選購。

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